功能介绍

■ CMP
      自动计算每个polish head的研磨速率
      自动计算每个lot的研磨时间
      提供基于Web的lot和equipment history

■ Photo
      自动处理OverLay和CD-SEM数据
      自动计算基于历史数据的PPID参数
      提供基于Web的lot和equipment history

■ Etch
      自动计算每个机台的etch rate
      自动计算每个lot的刻蚀时间
      提供基于Web的lot和equipment history